簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電機工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="多圖案微影技術"


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    考慮混合多重圖案微影技術的 擷取光罩最佳化
    • /103/ 碩士
    • 研究生: 張尹律 指導教授: 方劭云 
    • 由於下個世代的微影技術發展嚴重落後,多重圖案微影技術被視為最有展望能突破20 奈米限制的技術。自動對準多圖案微影技術(self-aligned multiple patterning)透過間隙壁(s…
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